微電子院牽頭開(kāi)展硅光MEMS國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)建設(shè)工作

　　12月10日，SAC/TC336全國(guó)微機(jī)電技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)硅光MEMS標(biāo)準(zhǔn)化工作組成立大會(huì)在中國(guó)兵器工業(yè)集團(tuán)微電子院召開(kāi)，標(biāo)志著由微電子院牽頭的硅光MEMS國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)建設(shè)工作正式起航。

　　硅光MEMS是集合了微電子、微機(jī)械和光電子技術(shù)交叉融合的前沿技術(shù)，在數(shù)據(jù)通訊、生化醫(yī)療、自動(dòng)駕駛、國(guó)防安全等領(lǐng)域應(yīng)用前景廣闊，目前標(biāo)準(zhǔn)領(lǐng)域尚為空白，亟待建立國(guó)家甚至國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)。

　　微電子院MEMS技術(shù)位居國(guó)內(nèi)前列，此次作為工作組牽頭單位，將積極協(xié)同高校、科研院所和上下游企業(yè)，在國(guó)標(biāo)委的指導(dǎo)下，圍繞硅光MEMS技術(shù)和產(chǎn)業(yè)發(fā)展，加快國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)制定，廣泛開(kāi)展科研項(xiàng)目和產(chǎn)業(yè)合作，助推我國(guó)硅光MEMS產(chǎn)業(yè)持續(xù)健康發(fā)展。

　　來(lái)源/微電子院 文/蘇楊 朱震星